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[공시] 참엔지니어링, 플라스마 관련 특허 취득

입력 2013-03-26 14:34

참엔지니어링은 26일 플라즈마 에칭 챔버 관련 특허를 취득했다고 공시했습니다.

회사 측은 이번 특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화할 계획입니다.