고품질 대형디스플레이 제작 원천기술 이전 계약
국가핵융합연구소(NFRI)는 25일 자체 개발한 'ECR 플라스마 기술'을 활용해 민간기업과 함께 고품질 대형 디스플레이를 제작할 수있는 차세대 디스플레이 증착장치 개발을 추진한다고 밝혔다.
핵융합연은 이를 위해 이날 ㈜아바코와 'ECR(전자사이클로트론공명) 플라스마를활용한 스퍼터 기술' 이전 계약을 체결했다. ECR 플라스마를 활용한 스퍼터 기술은 고밀도의 플라스마를 활용해 디스플레이에 박막을 증착하는 기술로 기존 기술보다 대면적 패널에 고품질의 박막을 균일하게 형성할 수 있는 것이 특징이다.
스퍼터는 플라스마 내 이온을 가속, 표적에 충돌시켜 원자들이 튀어나오게 하는장치로 반도체, 디스플레이 생산라인의 박막증착 공정에 활용된다.
양측은 이 기술을 활용하면 저온에서 투명전극, 산화막, 질화막 등 고품질 박막을 제조할 수 있는 등 기존 스퍼터 장비의 문제점을 해결할 수 있어 OLED, 플렉서블디스플레이 등 차세대 디스플레이 산업 발달에 혁신적인 역할을 할 것으로 기대하고있다.
㈜아바코는 평판디스플레이(FPD) 및 박막 태양전지의 핵심장비를 개발하는 생산설비 전문 기업으로 특히 평판디스플레이 분야에서 국내 업체로는 유일하게 8세대이상 대응 가능한 대면적 스퍼터 장비를 생산, 판매하고 있다.
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