ASML, 램리서치 등과 더불어 세계 4대 반도체 제조 장비 기업으로 손꼽히는 도쿄일렉트론(TEL)이 경기 화성시에 새 연구개발(R&D)센터를 완공하고 본격적인 가동에 들어갔다. 2000억~2500억원 규모의 반도체 제조기술 분야 투자와 함께 800여 명의 반도체 관련 고용 창출 효과가 기대된다.
화성시는 반월동 삼성전자 화성 사업장 인근에 ‘TEL 테크놀로지 센터 코리아-2(TTCK-2)’가 준공을 마치고 가동을 시작했다고 18일 밝혔다. 시에 따르면 이날 준공식에는 정명근 화성시장과 가와이 도시키 TEL 최고경영자(CEO)를 비롯해 기업 관계자 200여 명이 함께했다. 행사에는 TEL의 주 고객사 중 하나인 삼성전자 전영현 디바이스솔루션(DS)부문장(부회장), 송재혁 최고기술책임자(CTO) 등도 참석했다.
이번에 완성된 TTCK-2는 연면적 약 3만9200㎡의 지하 2층~지상 8층 규모 건물이다. 2006~2007년 국내에 건립한 동탄 화성사무소와 공장, 2012년 조성한 R&D센터 TTCK(도쿄일렉트론 한국기술센터)에 이은 TEL의 세 번째 R&D센터다. 약 4000㎡ 규모의 반도체 장비 클린룸(미세먼지 제거 청정실)을 갖췄다. 센터는 맞춤형 R&D가 필요한 부분에서 고객사의 웨이퍼(반도체 제조에 필요한 원형의 실리콘 원판)를 가져와 가공 및 공정 기술을 개발하는 역할을 담당한다.
TEL은 이번 센터를 거점으로 고객사와 대학 등 연구기관과 더불어 3자 협력 연구 방안도 추진한다.
오유림 기자 our@hankyung.com