정부가 장비를 뜯지 않고도 반도체 생산설비의 내부 안전성을 확인하는 인증 절차를 시행한다. 반도체업계는 이번 규제 개혁으로 연간 2조1000억원 이상의 경제적 효과를 얻을 것으로 기대하고 있다.
14일 환경부와 화학물질안전원에 따르면 ‘반도체 제조업종 유해화학물질 취급시설 설치 및 관리에 관한 고시’(반도체 특화고시)가 15일부터 시행된다. 이 고시는 반도체 공정 특성에 맞는 기준을 통해 현장의 안전을 담보하되 안전 기준 이행력을 높이는 내용을 담고 있다.
우선 국제반도체장비재료협회(SEMI) 가이드라인에 따라 제작하고 인증받은 완제품 형태의 반도체 생산설비는 국내 화학물질관리법 취급시설 기준을 준수한 것으로 인정한다.
다양한 화학물질을 사용하는 반도체 생산설비는 내부에서 유해화학물질을 옮기는 배관시설이 중요하다. 원칙적으로 내부 배관 현황의 안전성을 검사하기 위해서는 설비 내부를 들여다봐야 한다. 반도체 장비 제조업체들은 화학물질 유출을 방지하기 위해 밀폐된 완제품·모듈형으로 장비를 제작하는 추세인데, 기존 방식대로 검사하면 이들 제품을 일일이 분해해야 했다.
반도체 특화고시는 이런 문제점을 해결하기 위해 화학물질관리법 기준에 따른 장비 구매 사양서가 확인되고, SEMI 기준에 대한 제3자 인증기관의 인증을 받은 설비 배관은 화관법 취급시설 기준을 준수한 것으로 인정해준다.
소량 취급시설 인정 기준도 재정비했다. 유해화학물질 취급시설은 취급량에 따라 ‘제조사용시설 고시’나 ‘소량 취급시설 고시’를 적용받는다. 만약 반도체 제조설비 안에 검지·경보시설, 배출 처리설비 등 안전장치를 갖추고 소량의 유해화학물질을 취급한다면 설비별 취급시설 덮개(캐비닛)를 ‘유해화학물질 소량 취급시설 기준’에 따라 물리적으로 분리된 공간으로 인정해준다. 박봉균 화학물질안전원장은 “특화한 시설 기준이 필요한 다른 업종에도 맞춤형 기준을 확대해 실효성 있는 제도로 정착시키겠다”고 밝혔다.
곽용희 기자 kyh@hankyung.com