모션하이테크가 이달 31일부터 다음달 2일까지 서울 코엑스에서 열리는 국내 최대 반도체 산업 전시회 '세미콘 코리아 2024'에 참가한다고 29일 밝혔다.
이번 행사에서 모션하이테크는 친환경 반도체 운영기술 '에코 트랩(ECO TRAP)'을 선보인다.
에코 트랩은 자체 개발한 이온 섬유 필터를 적용해 전기와 물을 전혀 사용하지 않고 반도체 공정 중 발생하는 가스 부산물을 포집하고 분해하는 기술이다.
열이나 물을 사용했던 기존 방식에서 한 단계 더 나아간 친환경 기술인 셈이다.
에코 트랩에 사용되는 이온 섬유 필터는 ETCH, CVD, Implant, ALD 등 다양한 반도체 공정에 적용이 가능하다.
최근 반도체 생산 공정의 고도화로 웨이퍼 처리 과정이 복잡해지면서 가스 배출로 인한 배관 막힘 현상이 늘어나고 있다.
생산성을 높이기 위해 배관 교체 주기를 늘릴 가스 포집 기술이 중요해 지는 가운데, 에코 트랩의 경우 배관 교체 주기를 최대 6배까지 늘릴 수 있다.
모션하이테크는 "반도체 생산 설비에서 시간은 막대한 비용을 의미한다. 해당 기술은 원가 절감과 생산성 증대에 크게 기여할 뿐만 아니라 전기나 물을 전혀 사용하지 않고 가스를 처리할 수 있어 환경 보호와 지속가능한 개발에 중요한 역할을 할 것으로 기대된다"고 말했다.
