[공시]테스, 인라인 기판처리시스템 특허 취득

테스가 오늘(7일) 인라인 기판처리시스템 관련 특허를 취득했다고 공시했습니다.

회사 측은 "이번 특허를 이용하면 트레이를 사용하지 않고 복수의 기판을 한 번에 공정챔버로 이송할 수 있다"며 "장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품 경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔습니다.