LIG에이디피는 버퍼 챔버를 구비하는 금속 유기물 화학기상증착장치(MOCVD) 특허를 취득했다고 22일 공시했다.
이번 특허는 히터의 전원 공급선을 감소시켜 LED칩이 제조되는 챔버 내부를 간소화시킬 수 있는 화학기상 증착장치관련 기술이라고 밝혔다.
회사측은 이 기술을 이용하면 하나가 아닌 복수의 챔버를 구성해 각 챔버에서 웨이퍼에 발광막을 증착시키기 때문에 LED칩의 발광 품질과 생산 효율성을 향상시킬 수 있을 것이라고 설명했다.
회사 관계자는 "이번 특허기술을 LED 제조용 유기금속 화학기상 증착장치(MOCVD)의 경쟁력 확보에 활용할 계획”이라고 말했다.
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