AMAT, 반도체 제조 신형 장비 출시

어플라이드머티리얼즈가 반도체 제조장비를 새로 출시했습니다.

어플라이드머티리얼즈는 고성능 모바일 디스플레이 제조를 위한 플라즈마화학증착기(PECVD) ‘AKT-20K PX PECVD’를 출시한다고 밝혔습니다.

이번에 출시된 장비는 전 세계적으로 판매량이 급증하고 있는 스마트폰 및 스마트패드 등의 고성능 OLED(유기발광다이오드) 및 TFT-LCD(박막트랜지스터 액정표시장치) 디스플레이 제조 장비라고 회사는 소개했습니다.

어플라이드머티리얼즈 관계자는 이번 장비의 특징에 대해 "‘저온 폴리실리콘(LTPS)’ 방식을 도입해 보다 우수한 해상도의 디스플레이를 제공하며, 기판의 크기 증가 및 공정속도의 향상으로 생산량을 증가시킬 수 있다"고 설명했습니다.