경기도는 20일 평택 오성 외국인투자지역에서 엑셀리스 아시아 거점센터 착공식이 열렸다고 밝혔다. 엑셀리스는 세계 반도체 이온주입 장비시장의 양대 기업 가운데 하나다. 이온주입은 반도체의 전기적 특성을 조절하기 위해 필요한 물질을 넣는 공정이다.
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센터는 2만2326㎡ 부지에 연면적 1만8800㎡ 규모로 들어선다. 2028년 상반기 준공이 목표다. 장비를 생산하는 클린룸과 부품 물류창고, 고객사 교육시설 등을 갖춘다.
도는 삼성전자와 SK하이닉스의 생산시설이 모여 있는 경기남부에 핵심 장비 생산시설이 늘어나 반도체 공급망 안정에 도움이 될 것으로 기대했다.
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평택=정진욱 기자 crocus@hankyung.com
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