이조원 나노종기원장 "테스트베드 구축해 소·부·장 R&D 지원"
취임 뒤 첫 간담회…"일부 장비는 기업 유휴 장비로 확보할 것"
(서울=연합뉴스) 신선미 기자 = 이조원 나노종합기술원 원장은 31일 "12인치 웨이퍼 테스트베드를 구축해 중소기업의 제품개발부터 대기업의 최종 구매까지 연계되도록 최선을 다하겠다"고 말했다.
지난달 취임한 이 원장은 이날 서울 종로구의 한 식당에서 첫 간담회를 열고, 기술원 업무 추진 방향을 이같이 밝혔다.
과학기술정보통신부는 지난 8월 일본의 수출 규제에 대응해, 소재·부품·장비 핵심품목의 연구개발(R&D)에 3년간 5조원 이상을 투자한다는 내용의 '소재·부품·장비 연구개발 투자 전략 및 혁신대책'을 발표했다. 대책에는 카이스트 부설 나노종합기술원에 12인치 웨이퍼 공정시설을 구축한다는 내용이 담겼다.
이 원장이 간담회에서 이 대책 이행을 위한 기술원의 의지를 표명한 것이다.
나노종합기술원에 따르면 2017년 기준 반도체 핵심소재 국산화율은 50%, 장비 국산화율은 20% 수준으로 기술·산업적으로 취약하다. 개발한 제품의 성능을 검증하려면 12인치 웨이퍼 테스트베드가 필요하지만, 이 시설이 없어 많은 중소·중견 기업들은 해외 시설에 의존할 수밖에 없었다.
기술원은 현장의 이런 수요를 반영해 관련 검증시스템을 구축하고 기술개발기업과 최종 수요기업을 연계하는 '교량 역할'을 수행하겠다는 계획을 내놨다.
이를 위해 총 300평 규모의 청정실과 12인치 실리콘 반도체 전용 장비 10여 대를 우선 구축하는 한편 20nm 패터닝 공정 기술 등 단위·모듈, 특화공정기술을 확립하는 등 검증시스템을 갖춰갈 계획이다.
그러나 현재 확보된 예산으로는 장비 구축에 사실상 어려움이 있다는 게 연구원의 입장이다.
이 원장은 "핵심장비인 '불화아르곤 이머전 스캐너'(ArF Immersion Scanner) 구축이 필요한데 신규 장비는 1천억 원 수준으로 확보된 예산으로는 (구매가) 불가능해, 기업의 유휴 장비 확보에 힘쓰고 있다"고 말했다.
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