최근 반도체 산업 분야에서 제조공정의 정밀도와 안정성이 더욱 중요해지고 있는 가운데, 5nm 이하 첨단 로직 반도체와 200단 이상 3D NAND 등 고난도 제조공정이 확대됨에 따라 식각 장비에 적용되는 실리콘 부품의 품질과 성능에 대한 요구도 거세지고 있다.
그 중 반도체 식각 공정에서 사용되는 Si Parts는 공정의 균일성과 생산 수율에 영향을 미치는 핵심 부품 중 하나로 고품질 대구경 실리콘 소재를 안정적으로 생산할 수 있는 장비 기술의 중요성도 강조되고 있다.
이런 가운데 반도체 소재 생산장비 전문기업 에스에프솔루션(대표이사 이영준)이 첨단 반도체 공정에 대응하기 위한 초대구경 실리콘 단결정 성장 장비 개발에 본격적으로 나설 채비를 갖춘 것으로 전해졌다.
에스에프솔루션은 중소벤처기업부 소관 중소기업기술정보진흥원이 수행하는 ‘스케일업 팁스(Scale-up TIPS) 특화형’ 연구개발 사업에 선정돼 총 40억원 규모의 기술개발 프로젝트를 추진한다고 밝혔다.
이번 프로젝트는 반도체 드라이 에칭(Dry Etching) 공정에 활용되는 실리콘 파츠(Si Parts)의 원소재인 단결정 실리콘 잉곳(Si Ingot)을 성장시키는 600mm급 초대구경·초장대 장비를 개발하는 것이 핵심이다
이를 위해 2029년 8월까지 약 3년간 연구개발을 진행하는데 전체 사업비 중 30억원은 정부 연구개발비로 지원받게 된다.
에스에프솔루션은 기존 장비 제작 역량을 초대구경 성장 장비 분야로 확장할 계획으로 신규 Grower 개발뿐 아니라 장비를 활용한 실제 단결정 실리콘 성장 시험과 성능 검증까지 수행해 향후 상용화에 필요한 기술적 기반을 마련한다는 방침이다.
회사는 2022년 설립 이후 태양광 산업용 36인치 Grower를 비롯해 반도체 Si Parts 생산용 28인치 및 32인치 장비를 제작·납품했으며 이를 통해 장비 설계부터 제작 및 공정기술에 이르는 경험을 축적했다.
이영준 대표이사는 20년 이상 제조 및 장비 분야에 종사한 기술 전문가로 평가받는데 웅진에너지와 한화솔루션에서 약 15년간 실리콘 성장 장비 국산화와 공장자동화 설비 개발, 단결정 성장 공정기술 연구 등을 수행한 경험을 보유하고 있다.
한편 에스에프솔루션은 사업 확대를 위한 투자 기반도 확보해 지난 2월 이노폴리스파트너스와 비에이파트너스가 참여한 약 15억원 규모의 시리즈A 투자유치를 완료했으며, 현재까지 누적 투자유치액은 약 34억원이다. 이번 스케일업 팁스 과제 역시 운용사인 이노폴리스파트너스의 추천을 통해 추진됐다.
이영준 에스에프솔루션 대표이사는 “첨단 반도체 제조기술이 발전할수록 공정에 필요한 소재와 이를 생산하는 장비의 기술 경쟁력이 중요해지고 있다”며 “그동안 축적한 단결정 실리콘 성장 장비 개발 경험을 바탕으로 초대구경 장비의 기술적 완성도를 높이고, 실증과 고객사 검증을 거쳐 국내외 반도체 소재 생산장비 시장에서 사업 기회를 확대해 나가겠다”고 말했다.
<이미지 생성 = 챗 GPT>