SKC가 일본 의존도가 90% 이상인 반도체용 하이엔드급 블랭크 마스크를 연내 양산한다.
산업통상자원부는 SKC가 현재 반도체 공정의 핵심소재인 하이엔드급 블랭크마스크 시제품을 국내 수요기업과 시험 중에 있으며 하반기 본격적으로 양산할 예정이라고 20일 밝혔다.
블랭크마스크는 반응시키는 빛의 파장에 따라 불화크립톤(KrF), 불화아르곤(ArF), 극자외선(EUV)용으로 구분되며 ArF와 EUV가 하이엔드급이다.
이 제품은 대(對)일본 수입 상위 20대 핵심 소재·부품·장비 품목에 속한다.
20대 품목은 2021년까지 공급안정성을 확보하는 것을 목표로 국내 생산 확대, 기술개발, 수입국 다변화 등을 추진 중이다.
나머지 80대 품목은 올해 1조2천억원 규모의 연구개발(R&D) 지원을 추진하고 공급선 다변화 등을 통해 기본적인 공급안정성을 확보할 계획이다.
SKC는 2018년부터 총 430억원을 투자해 블랭크마스크 신규 공장을 지난해 말 완공했다. 내년에는 이번 양산 제품보다 첨단제품을 양산하는 것을 목표로 하고 있다.
정승일 산업부 차관은 이날 천안 SKC 블랭크마스크 공장을 방문해 소재·부품·장비 정책성과를 더욱 가속해야 한다고 강조했다.
특히 일본 수출규제 3대 품목은 공장 신·증설, 외국인투자기업 투자 등으로 올해 중 완전한 공급안정화를 달성할 계획임을 강조했다.
정 차관은 "소재·부품·장비 기술력 강화, 건강한 산업생태계 구축 등 확실한 변화를 위해 정부, 수요·공급기업 간 긴밀한 협력이 중요하다"며 "조기성과 창출을 위해 소재·부품·장비 100대 핵심 품목의 상용화에 올해 2천100억원 이상을 집중적으로 지원하겠다"고 말했다.
이용선 SKC 부사장은 "정부가 신규 공장 완공에 필요한 환경 등 인허가 신속처리, 수입 장비 할당 관세 적용, 정부 R&D 등을 적기 지원해 준 것에 감사하다"며 "국내 기업이 소재·부품·장비 정책의 추진동력을 유지할 수 있도록 정부가 협력모델에 관심을 갖고 지원해달라"고 요청했다.
SKC, 블랭크 마스크 하이엔드급 국산화 나서(사진=SKC 제공)