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참엔지니어링, 플라즈마 처리 기술 특허권 취득

입력 2013-07-24 10:20

참엔지니어링은 24일 플라즈마 처리 장치 및 방법에 관한 특허권을 취득했다고 공시했습니다.

회사 측은 "특허기술을 활용해 반도체 생산 공정 장비의 경쟁력을 강화 할 것"이라고 말했습니다.