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[공시] 원익IPS 박막장치 특허 취득

입력 2012-09-18 15:50

원익IPS는 18일 박막의 균일도를 향상시킬 수 있는 박막 증착 장치와 가스분사조립체 관련 특허를 취득했다고 공시했습니다.