주성엔지니어링, 정전척 냉각 베이스 관련 특허취득

주성엔지니어링이 정전척의 냉각 베이스 관련, 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은 "열 부하를 효과적으로 제어할 수 있는 정전척의 냉각 베이스에 관한 특허"라고 밝혔다.